0.001至320SCFM进口INTEK微小气体流量计专用于测量低至毫升/分钟（mL/min）级的气体流量，其测量精度直接影响实验重复性、工艺稳定性与生命支持安全。
0.001至320SCFM进口INTEK微小气体流量计的性能源于多个精密部件协同，每一部分都为微、准、稳而设计。
1、流量传感器
采用热式（热膜/热丝）或差压式原理，对微小气流高度敏感。
热式传感器：通过加热元件与温度感应器测量气体带走的热量，计算流速。响应快（毫秒级），无移动部件，适合洁净气体。
差压式传感器：利用层流元件产生压差，通过压差换算流量。线性好，适用于多种气体。
传感器表面镀有保护膜，抗腐蚀、防污染。
2、层流元件
由多根平行微毛细管或蜂窝结构组成，强制气体形成层流状态，确保压差与流量呈线性关系。材质为不锈钢或陶瓷，耐压、耐温，压降低，减少系统负载。
3、信号处理模块
内置高精度放大器与模数转换器（ADC），将传感器的微弱模拟信号（μV级）放大并转换为数字信号。集成温度与压力补偿算法，自动校正环境变化对气体密度的影响，提升测量准确性。
4、显示与操作界面
配备高分辨率LCD或OLED显示屏，实时显示瞬时流量、累计流量、温度与压力。支持多气体切换（如O?、N?、CO?），用户可自定义标定曲线。按键或触摸操作，界面简洁直观。
5、气路接口
采用标准快插接头（如1/8"NPT、6mm卡套），确保气密性。入口与出口标记清晰，防止反接。部分型号带过滤网，防止颗粒物进入传感器。
6、外壳与防护结构
采用工程塑料或铝合金外壳，IP65及以上防护等级，防尘防水。内部电路密封灌胶，抗振动、防潮，适应工业环境。
7、输出接口
提供多种信号输出：
模拟输出：4-20mA或0-5V，兼容PLC与DCS系统；
数字输出：RS485、Modbus、CAN或USB，支持远程监控与数据记录；
报警输出：继电器触点，超限自动报警。
8、微控单元（MCU）
集成嵌入式处理器，管理传感器采集、数据补偿、单位换算与通信协议。支持零点自动校准、故障自诊断与参数存储。
