美国INTEK69Mpa高压微小气体流量计用于精确测量高压（可达10MPa以上）环境下微流量气体的关键仪表，广泛应用于半导体制造、燃料电池测试、实验室配气、医疗设备及特种化工过程。其基于层流压差、热式或科里奥利原理，对安装、清洁度与操作规范极为敏感。一旦使用不当，极易出现零点漂移、读数跳变、堵塞甚至传感器损坏。科学识别
美国INTEK69Mpa高压微小气体流量计出现的问题并采取针对性措施，是保障高压下不失微，微流中不失准的核心。
一、零点漂移或读数不稳定
原因：温度波动、未充分预热或传感器污染。
解决方法：
开机后预热15–30分钟，待内部温度场稳定；
安装于恒温环境（±1℃），远离热源与通风口；
若用于腐蚀性或含颗粒气体，前置0.01μm级过滤器，并定期更换。
二、流量显示为零或响应迟缓
多因管路堵塞或方向接反：
检查气体流向是否与流量计本体箭头一致（热式/层流计具方向性）；
用洁净干燥氮气反向吹扫（若允许），清除微孔通道内油污或冷凝物；
确认上游减压阀输出压力稳定，避免压力骤降导致流量低于量程下限。
三、高压泄漏或接口松动
典型为密封失效：
使用VCR、卡套或高压NPT螺纹连接，禁用生料带（易碎屑进入）；
推荐金属垫片（如不锈钢C形环）或专用高压O型圈；
安装后进行1.5倍工作压力保压试验，检漏时间≥10分钟。
四、读数偏高或重复性差
根源为未校准或气体参数设置错误：
确保在实际工况（压力、温度、气体种类）下进行标定；
在仪表中正确输入气体类型（如H?、He、CH?），因其热导率/密度差异显著影响热式或层流计输出；
对非标准状态流量，启用内置温压补偿功能，输出标准体积流量（NmL/min）。
